一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法

• 作者: 何乐 王向朝 马明英
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 干涉测量 不平度 方镜 工件台 光刻机
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 519-524
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7|TN247
• 字数: 3597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.04.015

摘要

提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法.以方镜平移补偿量与旋转补偿量为测量目标,使用两个双频激光干涉仪分别测量工件台在x和y方向的位置和旋转量;将方镜不平度的测量按照一定的偏移量分成若干个序列,每一个序列包括对方镜有效区域的若干次往返测量;根据所有序列的测量结果计算出方镜的旋转补偿量;为每一个序列建立临时边界条件,并据此计算出每一序列所测得的方镜粗略平移补偿量;采用三次样条插值与最小二乘法建立每一个序列间的关系,以平滑连接所有测量序列得到精确的方镜平移补偿量.结果表明,该方法用于测量方镜平移补偿量,测量重复精度优于2.957 nm,测量旋转补偿量,测量重复精度优于0.102μrad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	马明英	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	11	60	4.0	7.0
6	何乐	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	4	11	2.0	3.0