硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线

• 作者: 张晋 王光灿 王清理 郭志超
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束蒸镀 阳极氧化 模版 量子线
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1897字
• 语种: 中文

摘要

制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中.再用这种模版直流电沉积制备了Znse半导体量子线阵列.SPM表征出相当好的结果,模版孔径和量子线大小一致,且分布均匀.这种模版底层的铂膜提供了量子线的一个电极,基底硅为纳米器件集成提供了平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王光灿	云南大学物理科学技术学院	24	210	7.0	14.0
2	张晋	云南大学物理科学技术学院	32	121	6.0	9.0
3	郭志超	云南大学物理科学技术学院	6	18	3.0	3.0
4	王清理	云南大学物理科学技术学院	1	2	1.0	1.0