基于MEMS技术的三维微力传感器

• 作者: 孙立宁 李满天 秦磊
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微力传感器 MEMS 应变
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-2,5
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.06.001

摘要

开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器,传感器为完全对称结构,由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成.每根硅梁上设计了一个利用MEMS工艺制作的惠斯通电桥,该种电桥应变系数大,在很大程度上简化了电桥处理电路的设计.在弹性力学和材料力学基础上,利用SOLIDWORK软件对传感器进行了应变分析,得出了力和输出电压之间的关系.设计了传感器信号检测电路,确定了减小温度对检测精度影响的方法.测试表明:该传感器检测量程为±0.5 N,重复定位精度优于9.1 mN,分辨力优于0.95 mN.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
2	李满天	哈尔滨工业大学机器人研究所	71	869	16.0	26.0
3	秦磊	哈尔滨工业大学机器人研究所	7	31	3.0	5.0