环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究

• 作者: 张波 薛虹
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳加工 双频激光干涉仪 环境因素 热膨胀 实时温度补偿
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 5-9,30
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 3691字
• 语种: 中文

摘要

以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由于热膨胀不能真实反映工件台位置带来的定位误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波	中国科学院电工研究所	209	2133	20.0	38.0
2	薛虹	中国科学院电工研究所	18	30	3.0	4.0