半导体设备中的抗干扰技术

• 作者: 刘德明 路孟喜
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 干扰源 干扰途径 干扰易受体 抗干扰措施
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN972
• 字数: 2890字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.06.010

摘要

简要分析半导体设备中干扰产生的原因、危害及一般抗干扰的原则;从干扰形成的三要素入手,重点介绍半导体设备设计、制造及维修中一些行之有效的抗干扰的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路孟喜	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	8	1.0	2.0
2	刘德明	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	0	0.0	0.0