磷吸杂工艺研究

• 作者: 唐穗生
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 磷吸杂 晶体管 芯片制造 工艺
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 分类号: TN873.93

摘要

磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6—8Ω／□（欧姆/方块）的磷吸杂工艺条件，并对过程的相关影响因素进行分析和探讨，同时提出了解决方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐穗生		6	0	0.0	0.0