纳米金刚石薄膜制备的现状与展望

• 作者: 王光祖
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 9页
• 分类号: O484.1

摘要

与微米金刚石薄膜不同，纳米金刚石薄膜晶粒度小，表面平滑。从发展水平来看，目前国内外纳米金刚石薄膜的研究，还处于基础性研究阶段，纳米金刚石薄膜的应用刚刚起步，距产业化还有较大距离。但是，由于纳米金刚石薄膜具有众多的优异性能，正因为如此，可望在众多的高技术领域中得到广泛应用。