中美两国ESD失效分析研究现状及比较

• 作者: 徐晓英 李庆容 王定虎 肖集雄
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ESD失效分析 失效机理 失效模式 失效分析技术
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 186-189
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 4311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2007.z1.049

摘要

随着微电子技术的迅猛发展和半导体器件尺寸的大幅度缩小,ESD失效分析已经成为微电子器件可靠性领域中的研究热点之一.概述了作为西方发达国家的典型代表美国由于ESD所造成的危害十分严重,因此美国学者对微电子器件的ESD失效分析进行了广泛研究.介绍了美国在该领域所取得的研究成果及进展状况并与我国学者所做的研究作了比较.美国在这领域所取得的新成果、新技术、研究所采用的新方法等等对我国的科学工作者是很有借鉴意义的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晓英	武汉理工大学理学院	34	186	8.0	12.0
2	肖集雄	武汉理工大学理学院	4	18	2.0	4.0
3	李庆容	武汉理工大学理学院	2	20	2.0	2.0
4	王定虎	武汉理工大学理学院	2	18	2.0	2.0