紫外正性光致抗蚀剂的研究进展及应用现状

• 作者: 佘万能 吕仁亮 宛盼盼 屈秀宁 沈革新
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: 光致抗蚀剂 重氮萘醌 酚醛树脂
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ57
• 字数: 4329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2007.05.001

摘要

酚醛树脂-重氮萘醌型正性光致抗蚀剂主要适用于436nm(G线)～365nm(I线)的紫外曝光区域,是目前电子和PS版工业中使用最多的正性抗蚀材料.本文介绍了近年来该类抗蚀剂的国内外进展情况,并对其各个组分进行了归纳综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屈秀宁		10	140	4.0	10.0
2	佘万能		44	561	13.0	22.0
3	宛盼盼		3	29	2.0	3.0
4	沈革新		2	15	2.0	2.0
5	吕仁亮		2	28	2.0	2.0