一种新型谐振式微加速度计设计和分析

• 作者: 何晓平 何高法 刘世明 唐一科
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 252-254,297
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2127字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.080

摘要

为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐一科	重庆大学机械工程学院	74	745	14.0	23.0
5	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
6	何高法	重庆大学机械工程学院	8	46	4.0	6.0
8	刘世明	重庆科技学院机械系	5	47	4.0	5.0