高场强下半导体沿面闪络现象的研究进展

• 作者: 严璋 张冠军 赵文彬
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 沿面闪络 热过程 细丝电流 气体解吸附
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 515-520
• 页数: 6页
• 分类号: TM85
• 字数: 5001字
• 语种: 中文

摘要

综述了国内外半导体沿面闪络的研究现状,阐述了电极结构的类型和影响闪络的主要因素;根据自定义的等值电导参数将闪络的发展划分为欧姆电导、局部闪络和贯通闪络3个阶段;通过对表面细丝电流的热过程进行实验和仿真研究,认为表面细丝电流通道的温度可以接近材料熔点,这一结果同时也支持了表面发热导致气体分子解吸附的假设;进一步通过气体解吸附的实验初步确定了存在外部的闪络通道.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冠军		4	60	2.0	4.0
2	赵文彬		1	2	1.0	1.0
3	严璋		1	2	1.0	1.0