取样光栅镀膜减反技术研究

• 作者: 刘全 吴建宏
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 取样光栅 减反膜 衍射效率 严格耦合波理论
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1|O484
• 字数: 1722字
• 语种: 中文

摘要

根据惯性约束聚变系统技术要求,提出了镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题.使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性,详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化.结果发现,镀平面膜是一种可行的技术方案,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的;裸光栅的深度为12 nm时,平面减反膜厚为60 nm,即光学厚度为等效1/4波长:72 nm.此时的透射率为99.8%,取样效率为0.241‰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘全	苏州大学信息光学工程研究所	99	1053	16.0	29.0
2	吴建宏	苏州大学信息光学工程研究所	66	509	14.0	19.0