色分离光栅镀膜减反技术研究

• 作者: 周礼书 张清华 杨春林 杨李茗 许乔
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 色分离光栅 衍射效率 溶胶-凝胶膜 减反技术
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: O437.4
• 字数: 2474字
• 语种: 中文

摘要

根据惯性约束聚变系统技术要求,提出一种镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题.对色分离光栅镀膜减反技术进行了详细的分析,根据标量理论给出了镀膜光栅的各项技术要求,优化了光栅结构参数.模拟计算结果发现,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过色分离光栅镀膜减反提高衍射效率的目的.该镀膜光栅刻槽深度的优化值为2.84μm,膜厚为等效1/4波长,即71.2nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	杨李茗		35	223	9.0	12.0
3	杨春林		29	204	7.0	13.0
4	周礼书		16	77	5.0	8.0
5	张清华		18	154	7.0	12.0