硅芯炉托盘控制系统的设计与实现

• 作者: 雷小博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 硅芯炉 籽晶托盘 控制系统 单片机 Aduc812
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.04.015

摘要

在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上,重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统,并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷小博	西安理工大学晶体生长设备研究所	5	11	2.0	3.0