基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算

• 作者: 张树人 李健雄 杨成韬 董加和 郑泽渔
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 频散特性 有效介电常数 瑞利波 递归刚度矩阵法
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 952-954,968
• 页数: 4页
• 分类号: O423|O347.4
• 字数: 2640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2007.05.039

摘要

结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型.根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线.该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性.本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
2	杨成韬	电子科技大学微电子与固体电子学院	67	255	8.0	12.0
3	董加和	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	21	3.0	4.0
4	李健雄	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	18	3.0	4.0
5	郑泽渔	电子科技大学微电子与固体电子学院	4	16	3.0	4.0