Cr含量对类石墨碳涂层硬度及其价键结构的影响

• 作者: 张永宏 蒋百灵 马婕
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石碳(DLC) 类石墨碳(GLC) 硬度 价键结构
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 106-110
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44|TB43
• 字数: 3322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2007.04.024

摘要

为了探讨Cr含量对类石墨碳(GLC)涂层硬度的影响机理,采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调整Cr靶电流,制备出了具有不同Cr含量的GLC涂层.借助显微硬度计测量了涂层的硬度,利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)分析了涂层的成分、相组成和主元素的价键结构.结果表明,Cr有显著软化GLC涂层的作用.随着Cr含量增加,GLC涂层中的sp3杂化碳的含量持续减小,sp2杂化碳的含量先增后减,而金属铬及碳铬化合物的含量则不断增大.上述因素对GLC涂层的硬度变化均有影响,而涂层中sp3杂化碳的含量随着Cr含量增加持续减小是造成GLC涂层硬度不断降低的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料学院	241	5240	40.0	64.0
2	张永宏	西安理工大学材料学院	11	74	5.0	8.0
6	马婕	西安理工大学材料学院	3	40	3.0	3.0