GaAs基共振隧穿微加速度计的研究

• 作者: 张文栋 张斌珍 熊继军 胡杰 薛晨阳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 共振隧穿薄膜 双空气桥工艺 控制孔工艺
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 235-237
• 页数: 3页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.075

摘要

研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构.该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Gao.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构.加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺.对加工出来的加速度计结构进行振动台实验,初步测得传感器的灵敏度为7.6 mV/g,线性度为0.16%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
4	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	胡杰	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	7	2.0	2.0