划片机工作台直线度的设计与实现

• 作者: 李战伟 王明权
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 误差分析 精度分配 直线度 均化效应
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 本期专题(封装工艺与设备)
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.007

摘要

依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度.依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法.