谐振式低速气体流速微传感器的理论建模

• 作者: 王军波 陈健 陈德勇
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 粘滞系数 有限元模拟
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 804-806
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2007.05.008

摘要

首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动.基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系,给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响.基于上述关系,推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型,得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系.使用有限元分析来评估这种设计,其结果表明,当气体的雷诺数低于1时,这种传感器的输入与输出成线性关系,其灵敏度达到1.6 Hz/(cm·s-1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0