非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究

• 作者: 吕宇强 张伟 张绪瑞 杨海波 甄志成 胡明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外探测器 氧化钒 多孔硅 绝热层 力学性能
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 敏感功能材料
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TN362|TN405
• 字数: 2614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.023

摘要

以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜.实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,70%三个多孔硅样品的微观形貌.利用显微喇曼光谱法测量其热导率,分别为8.16,7.28和0.624W/mK;利用纳米压入仪测量氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量,测得沉积在孔隙率为50%,60%,70%的多孔硅基底上氧化钒薄膜的显微硬度分别为1.917,0.928和0.13 GPa,杨氏模量分别为31.087,16.921和2.285 GPa,而沉积在单晶硅基底的氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量分别为10.919 GPa和193.792 GPa,并分析了微观结构差异对多孔硅绝热性能和机械性能的影响,为非制冷红外探测器的工艺制作过程提供一定的热学力学参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	天津大学电子信息工程学院	127	1215	17.0	28.0
2	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
3	杨海波	天津大学电子信息工程学院	13	72	4.0	8.0
4	张绪瑞	天津大学电子信息工程学院	6	27	3.0	5.0
5	吕宇强	天津大学电子信息工程学院	11	99	5.0	9.0
6	甄志成	天津大学电子信息工程学院	2	2	1.0	1.0