旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制

• 作者: 江世宇 王宏伟 腾功清 齐臣杰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 数学
• 关键词: 陀螺 微机械 摆动 敏感元件
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 2386-2390
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5|O138
• 字数: 3124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.11.007

摘要

介绍旋转摆动式硅微机械陀螺电容敏感的原理,给出了陀螺振动单元的结构尺寸,计算了被测角速度和敏感电容的关系,进而得到被测角速度和输出电压的关系.利用微机械加工方法加工得到了硅振动单元,加工硅振动单元的工艺特点是双面多次光刻、腐蚀.介绍了制作旋转摆动式硅微机械陀螺敏感元件的工艺并对制作的敏感元件进行测试,测试结果表明"三明治"敏感元件四个敏感电容较计算得到的电容偏小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宏伟	北京信息科技大学理学院	48	134	6.0	10.0
2	腾功清	北京信息科技大学理学院	4	3	1.0	1.0
3	齐臣杰	北京信息科技大学理学院	14	37	3.0	6.0
4	江世宇	北京信息科技大学理学院	5	4	1.0	2.0