In2O3基NO2气体传感器的研究

• 作者: 全宝富 刘凤敏 陈丽华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低温 二氧化氮 传感器
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 312-314
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.098

摘要

利用化学沉淀法制备了In2O3粉体,采用X射线衍射(XRD)的方法得到了粉体的晶体结构,颗粒尺寸为纳米量级.以In2O3为基体材料,制作了烧结型旁热式气敏元件,通过固相掺杂的办法改善元件的气敏特性.在低于100℃的工作温度下,通过对SO2,CO,CH4,Cl2,NO2五种气体的检测,发现分别以质量分数为2%PdCl2和5%CeO2为掺杂剂的元件对NO2气体均表现出较好的敏感性,对SO2,CO,CH4,Cl2四种干扰气体的灵敏度较低,表明元件具有良好的选择性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘凤敏		3	14	2.0	3.0
2	陈丽华		2	13	2.0	2.0
3	全宝富		3	16	2.0	3.0