溶胶-凝胶法制备(Ba,Sr,Ca)TiO3薄膜及其介电调谐性能分析

• 作者: 吴文彪 孟中岩 朱伟诚 秦伟 程晋荣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: BSCT薄膜 溶胶-凝胶法 介电调谐 漏电流
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1343-1346
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.06.030

摘要

本文采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)薄膜.XRD及SEM结果表明表明,薄膜结晶良好,形成单一的钙钛矿结构,没有明显的裂缝.薄膜厚度大约为500nm.从介电常数和直流偏压电场的关系曲线上并没有滞后现象,这说明BSCT薄膜处于顺电相.随着x的增加,薄膜的介电常数、介电损耗和调谐率都有所下降,而优值有所提高.J-V特性表明Ca的加入显著降低了薄膜的漏电流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟中岩	上海大学材料科学与工程学院	27	307	11.0	16.0
2	程晋荣	上海大学材料科学与工程学院	12	73	5.0	8.0
3	吴文彪	上海大学材料科学与工程学院	6	67	3.0	6.0
4	秦伟	上海大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
5	朱伟诚	上海大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0