基于MEMS粘附问题中关键表面力的分析

• 作者: 刘庆玲
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 粘附 表面张力 Van Der Waals力 静电力
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与分析
• 页码范围: 28-29,38
• 页数: 3页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4414.2007.04.014

摘要

粘附是MEMS器件在加工、操作过程中特有的现象,根据微机械中作用力的尺度效应与表面效应,分析表面张力、范得瓦耳斯力、静电力对粘附的影响机理,同时给出了抗粘附的常用的技术方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆玲		31	90	6.0	7.0