MEMS微梁粘附"突陷"静力分析

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 粘附"突陷" Hamaker微观连续介质修正理论
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: O48
• 字数: 2342字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.01.013

摘要

"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0