微悬臂梁粗糙表面粘附建模分析

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 粗糙度 粘附力
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 749-752
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2004.05.022

摘要

针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面"截球型"粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;讨论了粗糙面凸峰对粘附力的影响,得到影响粘附力的主要原子是凸峰顶部少数几层原子的结论;仿真出光洁度等级分别为10级,11级和12级的镍悬臂梁粗糙面粘附力数值结果,为微悬臂梁的结构设计提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0