钛基纳米金刚石涂层场发射阴极的工艺改进

• 作者: 张志勇 王雪文 秦坤 翟春雪
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射阴极 纳米金刚石涂层 表面活性剂 热处理 氢等离子体处理
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件与系统
• 页码范围: 34-36,40
• 页数: 4页
• 分类号: TN383+.1
• 字数: 2650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.z1.010

摘要

钛基纳米金刚石涂层场发射阴极适于大面积制备,但原始工艺制备出的样品场发射性能较低.为提高样品的性能,对原始工艺进行了改进:首先,改变分散液成分,在原分散液中加入表面活性剂以改善金刚石纳米粉的分散效果;其次,改变真空热处理(HFCVD)系统的热丝结构使样品热处理时的温度场更加均匀;最后,在原工艺基础上增加表面处理环节,用射频氢等离子体对金刚石纳米粉涂层进行表面处理以降低样品的场发射阈值.经过工艺改进,样品的阈值场强由6.3 V/μm降低至1.9 V/μm,在17.6 V/μm场强下的场发射电流密度由56.1 μA/cm2提高到61 μA/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志勇	西北大学信息科学与技术学院	98	759	13.0	22.0
2	王雪文	西北大学信息科学与技术学院	45	408	11.0	18.0
3	翟春雪	西北大学信息科学与技术学院	15	50	4.0	6.0
7	秦坤	西北大学信息科学与技术学院	1	4	1.0	1.0