溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其性能研究

• 作者: 窦卫红 许启明 赵海丽
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 c轴择优取向性 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 50-51
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2007.08.021

摘要

使用溶胶-凝胶法在P型Si(100)衬底上成功地制备了具有c轴择优取向性和高可见光透射率的多晶ZnO薄膜.通过XRD、SEM以及PL光谱等分析,表明:所制备的是结晶良好的ZnO薄膜,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在15～60 nm,颗粒平均直径大约为38nm.由透射谱可知,制备的ZnO薄膜在可见光区域内薄膜的平均透射率在85%以上;由光致发光谱可知,室温下可观察到显著的紫外光发射,说明具有较好的光学性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许启明	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	100	725	13.0	20.0
2	赵海丽	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	3	12	3.0	3.0
3	窦卫红	西安建筑科技大学材料科学与工程学院	5	17	3.0	4.0