MEMS微波功率传感器的共面波导优化设计

• 作者: 廖小平 田涛
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微波功率传感器 共面波导 优化 二氧化硅隔离层 插入损耗 回波损耗
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1559-1562
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1|TN377
• 字数: 3392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.009

摘要

归纳了目前存在的一些减小共面波导损耗的方法,用HFSS模拟了这些方法的插入损耗和回波损耗.根据微波功率传感器的特点选取了二氧化硅隔离层的结构来制作共面波导,指出了这种结构存在的缺陷,并运用半导体物理的知识解释了造成缺陷的原因,最后提出了改进结构并通过HFSS模拟证实了这些结构的正确性.从最终的结果来看,三种优化结构得到的插入损耗绝对值均减小到了0.6 dB以下,回波损耗也降到了-30 dB以下.