NiTi薄膜残余应力测试方法的探讨

• 作者: 吴廷斌 周伟敏 周平南
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 残余应力 NiTi 薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2007.01.005

摘要

介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法,重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法-纳米压痕法,并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力,对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试,结果表明纳米压痕技术可作为定性测量薄膜残余应力的有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周伟敏	上海交通大学材料科学与工程学院	15	81	6.0	8.0
2	吴廷斌	上海交通大学材料科学与工程学院	4	49	3.0	4.0
3	周平南	上海交通大学材料科学与工程学院	5	25	3.0	5.0