应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工

• 作者: 上原嘉宏 大森整 尹韶辉 林伟民 盛晓敏 陈逢军
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 化学气相沉积碳化硅 在线电解修整镜面磨削 磁流变光整加工 超精密加工 形状精度 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（21）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2547-2550,2560
• 页数: 5页
• 分类号: TG58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.21.008

摘要

利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工.首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,提高表面质量,并通过修正加工,显著提高了工件表面的形状精度.对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验,高效率地得到Rq=2.4nm(均方根偏差)的表面粗糙度和21.2nm的形状精度,并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛晓敏	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	49	811	16.0	27.0
2	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
3	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
4	林伟民		2	10	1.0	2.0
5	大森整		3	41	2.0	3.0
6	上原嘉宏		2	40	2.0	2.0