多层膜外退火方法制备MgB2超导薄膜

• 作者: 余增强 吴克 王福仁 聂瑞娟 马小柏
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: MgB2薄膜 外退火 超导成相 表面形貌
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 512-517
• 页数: 6页
• 分类号: TG1
• 字数: 2989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.01.083

摘要

报道了利用电子束蒸发的Mg/B多层膜作为前驱体,然后退火制备MgB2薄膜的工作.实验中发现,采用翻转膜面的退火处理方式可以有效地避免降温过程中Mg蒸气在薄膜表面形成的颗粒凝结,由此稳定地实现了面积为10 mm×10mm,均匀、平整的超导薄膜的制备,Tc达35 K,转变宽度为0.8 K,在5 μm×5 μm的区域内薄膜的平均粗糙度小于10 nm.为了便于后续器件制作过程中的微加工工艺,研究了膜厚小于1000 (A)时薄膜的成相规律,发现当样品厚度减薄后,Te会有明显降低.通过调整前驱薄膜中的不同分层厚度,仍可实现转变温度达30 K以上、厚度约600 (A)的MgB2薄膜,在20 K时的临界电流密度为2.4×106 A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余增强	北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室	8	19	4.0	4.0
2	王福仁	北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室	15	42	4.0	6.0
3	聂瑞娟	北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室	13	47	4.0	6.0
4	吴克	北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室	8	15	2.0	3.0
5	马小柏	北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室	5	15	3.0	3.0