掺TiO2的ZnO薄膜气敏特性研究

• 作者: 孙以材 杜鹏 潘国锋 邱美艳
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 掺杂 溅射 气敏特性 灵敏度
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 37-40,45
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 4195字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.01.010

摘要

用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有TiO2的ZnO薄膜,并进行500℃、700℃退火处理,对掺杂前后ZnO薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性.500℃退火后,各掺杂样品对有机气体有较高的灵敏度,随着掺杂时间延长,气敏特性提高.700℃退火后,2 min掺杂的样品对乙醇有很高的灵敏度和很好的选择性,最佳工作温度为220℃左右.而其他掺杂量的样品对乙醇气体灵敏度低,随着掺杂时间延长,气敏特性降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	潘国锋	河北工业大学微电子研究所	11	64	5.0	7.0
3	邱美艳	河北工业大学微电子研究所	5	43	4.0	5.0
4	杜鹏	河北工业大学微电子研究所	4	35	4.0	4.0