宽调谐范围垂直腔面发射激光器特性分析及设计

• 作者: 关宝璐 杨浩 梁庭 沈光地 邓军 郭晶 郭霞 顾晓玲 高国
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 可调谐垂直腔面发射激光器
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 4585-4589
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.08.041

摘要

运用光学传输矩阵和有限元方法对波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSELs)的波长调谐范围进行了研究.对中心波长为980 nm的可调谐VCSELs的波长调谐特性和微电子机械系统(MEMS)悬臂梁结构进行了设计,并进行了实验研究.结果表明,MEMS可调谐VCSELs调谐特性同时受到光波谐振腔结构和悬臂梁最大位移的共同影响.在悬臂梁几何尺寸和激光器有源区结构一定的条件下,通过优化可调谐VCSELs的牺牲层厚度可实现大范围波长调谐.同时,对可调谐VCSELs整体结构进行了设计,计算结果显示波长调谐范围达到30 nm以上,调谐效率达到0.12,调谐过程中所有激射波长都处在InGaAs/GaAs量子阱高增益区.