失效空心阴极发射体的扫描电镜研究

• 作者: 刘梦林 史锴 孙景春 王志 韩征和
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 空心阴极 发射体 场发射扫描电镜
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 分析测试技术与应用
• 页码范围: 51-52
• 页数: 2页
• 分类号: O462
• 字数: 1657字
• 语种: 中文

摘要

利用场发射扫描电镜(FESEM)及其附带能谱仪研究了失效空心阴极发射体的表面形貌、元素组成.研究了离子源环境参数包括预热温度、环境气体组成等对空心阴极失效的影响.提出在离子束辅助沉积(Ion Beam As-sisted Deposition)系统中影响空心阴极发射体寿命的影响因素包括预热温度,环境气体等.通过控制温度和环境气体参与反应的时间可以提高空心阴极的寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志	清华大学物理系	104	937	15.0	28.0
2	韩征和	清华大学物理系	33	131	6.0	10.0
3	刘梦林	清华大学物理系	6	41	3.0	6.0
4	史锴	清华大学物理系	7	23	4.0	4.0
5	孙景春	清华大学物理系	1	2	1.0	1.0