铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究

• 作者: 张俊峰 李以贵 高阳
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 驱动 剥离工艺 离子铣工艺
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TN252
• 字数: 2314字
• 语种: 中文

摘要

本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料.对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点.采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好.得到了利用剥离工艺制造的铜叉指换能器的原子力显微镜轮廓.制造了声表面波驱动装置并得到了优化的制造参数.