纳米薄膜力学性能的尺寸相关性及其残余应力分析

• 作者: 佘慧 王彪
• 来源期刊: 纳米科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米薄膜 残余应力 表面应力 力学性能尺寸相关性
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 基础理论研究
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: O484|O369
• 语种: 中文

摘要

系统地分析了纳米薄膜残余应力产生的物理机制,重点讨论了表面应力对纳米薄膜的影响,解释了纳米薄膜特殊的力学性能尺寸相关性,并通过考虑表面应力的有限元模型给出了纳米薄膜单轴拉伸的数值模拟结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王彪	中山大学物理科学与工程技术学院	39	196	8.0	13.0
2	佘慧	中山大学工学院	3	14	2.0	3.0