电容式射频微机械谐振器芯片级测试技术

• 作者: 王蕴达 蔡明 谭秀颖 陈兢
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械谐振器 寄生电容 射频 电学测试 等效电路
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 307-312
• 页数: 6页
• 分类号: TM930.1
• 字数: 3630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2008.04.006

摘要

针对用电容式射频微机械谐振器芯片级测试时信号微小、寄生效应严重、从而使得激励和检测困难的问题,本文对基于固支梁的微机械谐振器的电学测试理论和技术进行了研究.利用机电类比的方法得到了包含寄生参数的谐振器的等效电路并利用安捷伦的ADS电路仿真软件进行模拟.根据电路仿真结果分析了谐振器寄生参数对测试结果的影响,并在此基础上搭建了经过良好电磁屏蔽设计的谐振器单端口电学测试平台.使用合适的偏置,对谐振器进行了芯片级测试.得到了一个8.6 MHz谐振器的幅度——频率响应特性曲线,其结果与设计值相符.