金属掺杂类金刚石膜的研究进展

• 作者: 卢常勇 孙有文 王小兵 王淑云 程勇 郭延龙
• 来源期刊: 纳米科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 掺杂类金刚石膜 金属掺杂
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 纳米材料和应用
• 页码范围: 13-16,65
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

金属掺杂类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的很多性能.金属掺杂DLC膜不仅在缓解薄膜应力方面具有良好的效果,而且还能改变薄膜的力学和摩擦磨损性能.目前,掺杂DLC膜正发单一掺杂向复合掺杂、均匀掺杂向梯度掺杂发展.文章对掺杂DLC膜的研究进展作了概括及分析.