真空环境下超声电机的速度测试与控制

• 作者: 芦丹 赵淳生 郑伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声电机 速度测试 真空 模糊PI控制
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1218-1222
• 页数: 5页
• 分类号: TM356
• 字数: 2176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.07.012

摘要

研制了基于单片机的速度测试控制系统,根据超声电机的工作原理和运行速度与其驱动频率之间的关系,利用模糊参数自整定PI方法直接检测超声电机的转速,调节超声电机的驱动频率,控制超声电机以期望的速度运行于真空环境.实验结果表明,利用该系统可控制超声电机长时间稳定运行于真空环境下(最高真空度可达0.003 Pa),速度偏差控制在1 r/min以内,基本满足真空环境下超声电机测控的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵淳生	南京航空航天大学精密驱动研究所	269	4525	31.0	51.0
2	芦丹	南京航空航天大学精密驱动研究所	4	64	4.0	4.0
3	郑伟	南京航空航天大学精密驱动研究所	12	163	6.0	12.0