PT种子层对微力传感器性能的影响

• 作者: 孟汉柏 崔岩 王兢 王立鼎 陈会林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 压电系数
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 461-464
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174|TP212.12
• 字数: 3216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.024

摘要

为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响.运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流.结果表明,在同为600℃退火温度下,两种薄膜均具有钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向.当外加电压增加时,PZT薄膜的漏电流基本保持不变;PT/PZT/PT薄膜的漏电流变化在1 nA左右.最后应用MEMS工艺分别制作了基于PZT,PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器,并在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试.测试结果表明,添加PT种子层对微悬臂梁的弹性系数基本没有影响,但微悬臂梁的灵敏度显著增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	130	1877	24.0	38.0
2	崔岩	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	59	332	10.0	16.0
3	王兢	大连理工大学电子与信息工程学院	81	398	9.0	14.0
4	孟汉柏	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	21	1.0	2.0
5	陈会林	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	1	0	0.0	0.0