极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响

• 作者: 吴浩 王俊杰 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 加速度传感器 非平行极板 阻尼 等效电学模型 阶跃响应 可靠工作范围
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 745-748
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.05.010

摘要

根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型.通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响.结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明, 在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊杰	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	63	213	9.0	13.0
5	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
6	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
7	吴浩	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	16	62	4.0	7.0