薄膜微结构分析的几种X射线散射技术

• 作者: 吴小山
• 来源期刊: 南通大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 微结构 X射线 散射
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 1-14
• 页数: 14页
• 分类号: O434.1
• 字数: 9701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2340.2008.03.001

摘要

文章厄要介绍了X射线小角反射、X射线漫散射技术、X射线表面衍射和多晶薄膜的小角衍射实验原理和实验技术,特别针对各种实验技术中实验数据的采集要求做了细致描述;通过对自旋阀、异质结构中的应变、薄膜深度轮廓及应变规律等的研究.说明这些散射技术在薄膜研究中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴小山	南京大学固体微结构物理国家重点实验室	36	180	6.0	12.0