热超声键合换能系统设计及性能分析

• 作者: 杨岳锋 段吉安 隆志力 齐斌
• 来源期刊: 声学与电子工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 热超声键合 PZT换能系统 有限元方法
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 1569字
• 语种: 中文

摘要

在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分.基于等效电路法和解析法设计,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析.实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12.7Ω,振动位移达到3.725μm,满足超声芯片封装的工艺要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段吉安	中南大学机电工程学院	107	973	17.0	24.0
2	隆志力	中南大学机电工程学院	34	285	10.0	16.0
3	杨岳锋	中南大学机电工程学院	3	1	1.0	1.0
4	齐斌	中南大学机电工程学院	5	22	3.0	4.0