芯片键合换能系统研究现状分析

• 作者: 吴运新 钟掘 隆志力 韩雷
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 换能系统 超声键合 研究现状 发展趋势
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 1373-1378
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.94
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.11.026

摘要

换能系统是芯片封装装备的核心机构,其工作性能直接决定键合质量.结合自身研究成果,综述了芯片键合换能系统的研究现状,分析了当前换能系统的理论建模与设计方法,包括解析法、传递矩阵法、等效电路法以及有限元法等.结合多年的试验测试,分析了当前换能系统存在的缺陷与不足,如频率混叠、超声能量不稳定、响应滞后等,指出了满足未来系统级封装工艺要求的换能系统的发展方向,提出了提高换能系统工作性能的若干建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟掘		145	2500	26.0	41.0
2	吴运新		184	1824	22.0	31.0
3	隆志力		34	285	10.0	16.0
4	韩雷		78	614	14.0	20.0