基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置

• 作者: 周建友 汤昌社 潘嘉声 胡润洪
• 来源期刊: 中国测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平晶 CCD 等倾干涉仪 最小二乘拟合 标准干涉环
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 计量检定与校准测试
• 页码范围: 16-17,47
• 页数: 3页
• 分类号: TH741.3|TH821
• 字数: 1273字
• 语种: 中文

摘要

为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造.计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径Do.对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测Do值计算平面度.改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率,且大大降低了劳动强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤昌社		3	10	2.0	3.0
2	周建友		5	17	3.0	4.0
3	潘嘉声		7	19	3.0	4.0
4	胡润洪		2	10	2.0	2.0