音圈电机在探头机构中的应用

• 作者: 高慧莹
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 探头机构 直线电机 恒力矩控制模式
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TM33
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.12.009

摘要

描述了在探头机构中,应用恒力矩控制模式对直线电机进行控制,并通过试验分析,得出驱动器SQ参数、电压和力的关系.