基于音圈电机的精密扫描定位设计

• 作者: 刘恩超 张艳娜 徐春风 李新 郑小兵
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 音圈电机 柔性轴承 精确定位 性能验证
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光电技术
• 页码范围: 384-390
• 分类号: TM301.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2014.05.008

摘要

针对目前精确定位技术在精微操作领域的应用,设计了基于音圈电机的精密扫描定位装置,用于实现光谱扫描测量中成像光斑的定位.根据不同电机驱动的对比,选择直线型音圈电机作为精密定位的驱动装置.结合不同直线型直流电机的分类,详细叙述了音圈电机的工作原理、参数及选择依据.在结构设计中采用了柔性轴承和悬臂,并对柔性悬臂进行受力分析.结合精确定位及音圈电机的工作需求,设计了专门的驱动装置.通过实验对扫描定位装置进行性能验证,结果显示,定位装置的稳定时间小于30 ms,长时间的偏移小于1.5 μm,满足扫描定位的微米量级的设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	222	7440	44.0	79.0
2	张艳娜	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	17	68	5.0	8.0
3	刘恩超	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	14	78	5.0	8.0
4	徐春风	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	1	4	1.0	1.0