基于音圈电机的新型高速精密定位系统设计方法

• 作者: 冯晓梅 张大卫 杜伟涛 赵兴玉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 音圈电机 解耦机构 动态设计 性能测试
• 年，卷（期）: 2005,（16）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1414-1419
• 页数: 6页
• 分类号: U666.12
• 字数: 4472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.16.002

摘要

设计了一种基于直线音圈电机直接驱动并采用新型弹性解耦机构的高速高精度XY精密定位平台.详细介绍了该装置的结构形式和动态设计方法,并对研制样机进行了性能测试.测试结果表明,该新型精密定位平台具有很高的速度、加速度和精度,能够适应集成电路封装业发展对封装设备提出的新要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大卫		146	2041	26.0	38.0
2	冯晓梅		6	146	5.0	6.0
6	赵兴玉		23	486	13.0	22.0
7	杜伟涛		3	117	3.0	3.0