红外可见兼容隐身薄膜的制备与性能

• 作者: 刁训刚 王天民 郝雷 顾宝霞
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 低红外发射率 多弧离子镀 二氧化钛 氮掺杂 光学性能
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: V25
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2008.02.007

摘要

采用多弧离子镀制备了多彩Al/TiNO(掺氮TiO2)薄膜,利用SEM观察了薄膜的表面、断面形貌,并测量了其膜厚.采用XRD研究了薄膜的相结构.利用紫外一可见分光光度计研究了TiNO膜的可见光谱特性,用红外比辐射率测量仪测量了样品的红外发射率.结果表明:在不改变Al箔在8～14 um波段低红外发射率的情况下,实现了其物理着色.所得薄膜为锐钛矿型TiO2结构,薄膜表面平整、致密,结合力较好.TiNO薄膜呈明显柱状生长,薄膜试样表面未出现明显缺陷,薄膜表面致密,柱状颗粒生长完好.TiNO薄膜的沉积速率达120 nm/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民		140	1545	22.0	32.0
2	郝雷		8	56	4.0	7.0
3	刁训刚		55	359	10.0	16.0
4	顾宝霞		7	39	5.0	6.0